全球首座金剛石晶圓廠明年量產
- 作者:碳方程新材料(山西)有限公司
- 類別:行業新聞
- 更新時間:2024-12-20 08:51:59
- 瀏覽量:7人閱讀
12月17日消息,據EEnews Europe報道,西班牙政府已獲得歐洲委員會的批準,將向總部位于美國加利福尼亞州舊金山人造金剛石廠商Diamond Foundry的西班牙子公司 Diamond Foundry Europe 提供8100萬歐元的補貼,以支持其斥資8.5億美元在西班牙特魯希略(Trujillo)建造一座金剛石晶圓廠的計劃。
歐盟委員會表示,已批準8100萬歐元(約8500萬美元)的補貼,總投資至少約為6.75億歐元(約 7 億美元)。
2025年開始量產
Diamond Foundry表示,已于2023年上半年動工的Trujillo晶圓廠計劃在 2025年開始生產單晶金剛石芯片,該工廠的總產量將達到1000萬克拉,為傳統鉆石買家和半導體行業提供服務。
Trujillo 晶圓廠將使用該公司的等離子體反應器技術生產人造金剛石晶片,并將成為世界上首批完全由太陽能供電的工業項目之一。Diamond Foundry正計劃在晶圓廠周圍的土地上安裝 120MW 太陽能發電裝置。
資料顯示,金剛石半導體具有超寬禁帶(5.45eV)、高擊穿場強(10MV/cm)、高載流子飽和漂移速度、高熱導率(2000W/m·k)等材料特性,以及優異的器件品質因子(Johnson、Keyes、Baliga),采用金剛石襯底可研制高溫、高頻、大功率、抗輻照電子器件,克服器件的“自熱效應”和“雪崩擊穿”等技術瓶頸。
此外,金剛石擁有優異的物理特性,在光學領域具有良好透光性和折射率,適用于光電器件的研發;電學方面,其絕緣性能和介電常數使其在復雜電路中發揮穩定作用;機械性能方面,高強度和耐磨性確保芯片能夠承受極端工作條件。
Diamond Foundry
Diamond Foundry成立于2012年,業務涉及珠寶和奢侈品市場以及半導體行業。Diamond Foundry將使用其擁有專利的CVD(化學氣相沉積)方法進行生產。工廠內的168臺等離子反應器預計于2025年上半年開始首期生產,并于2027年底全面投入運營,預計年產量超過200萬克拉。生產的培育鉆石大部分將用于汽車、5G通信等行業的應用,小部分用于珠寶行業。
2022年,Diamond Foundry收購了德國的Audiatec公司,該公司25年來一直致力于合成單晶鉆石的獨特科學挑戰。
2023年10月2日,Diamond Foundry宣布制造出了世界上第一塊單晶金剛石晶圓。這塊金剛石晶圓直徑100毫米,重量110克拉,具備極高的導熱性和電絕緣性。據該公司稱,是使用一種稱為異質外延的工藝來沉積碳原子,并在可擴展的基底上進行制造。Diamond Foundry表示,下一個目標是降低金剛石晶圓的缺陷密度,以實現比硅高17200倍、比碳化硅高60倍的品質因數。
無論是國際巨頭Diamond Foundry還是中國本土企業,都在積極投身這一領域的發展,共同推動金剛石晶圓技術的創新與應用。此外,我國政府也已高度重視金剛石等超硬材料產業的發展,出臺支持政策。
關于碳方程
近年來,中國金剛石晶圓企業積極引進國外先進技術,加強自主研發,不斷提升產品質量和生產效率。其中,碳方程近年來不斷加大研發資源的投入,全力聚焦于大尺寸金剛石材料相關設備核心技術壁壘的攻克。
目前,金剛石無論是單晶片還是多晶片,都受限于產品尺寸太小。真正商業化應用需要英寸級大面積晶圓?,F在金剛石的異質外延法和馬賽克拼接法都逐步成熟,加以6~8inc的生長設備的輔助,相信我國的英寸級金剛石材料也將得到快速發展。
而碳方程最新發布的50200A MPCVD 設備在大尺寸金剛石生產方面取得了重大突破,該設備采用915MHZ的微波頻率,單爐可生產8英寸多晶產品,若用于生產單晶金剛石,單爐能夠穩定產出多達 489 片尺寸為 7*7mm 的單晶金剛石。設備運行功率方面,采用50KW大功率裝置,達到大尺寸金剛石的量產條件。
在當前的小批量試生產階段,該設備已成功驗證其卓越性能,所生產的 8 英寸熱沉片在關鍵性能指標上表現卓越,達到了行業前沿水平,為推動金剛石的大規模工業化生產以及拓展大尺寸材料的廣泛應用奠定了堅實基礎,有望在金剛石材料產業競爭格局中占據重要的一席之地,進一步助力中國在金剛石晶圓領域邁向新的高峰。
免責聲明 | 部分素材源自DT半導體及網絡公開信息,版權歸原作者所有。
本平臺發布僅為了傳達一種不同觀點,不代表對該觀點贊同或支持
如涉侵權,請聯系我們處理