近日，碳方程半導體設備制造（山西）有限公司在技術創新領域取得重要突破，一項名為 “一種 MPCVD 籽晶擺放裝置” 的專利成功獲得國家知識產權局授權。

該專利成果聚焦于 MPCVD 籽晶擺放這一關鍵環節，旨在解決傳統籽晶擺放過程中效率低、精度差以及操作復雜等難題。其核心設計包括獨特的支撐板結構，支撐板上部不僅設有可升降的樣品臺，還創新性地滑動連接了夾爪安裝架。夾爪安裝架上配備了固定夾爪和活動夾爪，以及專門的鉬盤，并且增設了多種型號的籽晶定位盤。

在實際應用中，操作人員只需將籽晶放置在定位盤的單元格內，無需像以往那樣進行繁瑣的多次調整，即可輕松實現籽晶的精準定位。定位盤的多樣化設計能夠適配不同尺寸的籽晶，極大地拓寬了裝置的適用性，無論是何種規格的籽晶，都能在該裝置上實現快速、精確的擺放。這不僅保證了籽晶擺放的高質量，而且大幅節省了時間成本，顯著降低了人工操作的難度。

此次新專利的獲得，無疑是對碳方程公司在半導體設備制造技術研發道路上的一座重要里程碑，標志著公司在提升生產效率、優化產品質量以及降低生產成本等方面邁出了堅實的步伐，為推動半導體設備制造行業的技術進步貢獻力量，也為公司未來的持續發展和技術創新奠定了堅實的基礎。